ผงขัดเงา FO สำหรับขัดเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้ว
ผงขัดเงา FO เป็นสารขัดถูคอมโพสิตความแม่นยำสูงที่ได้รับการปรับปรุงเป็นพิเศษสำหรับกระบวนการขัดผิวเรียบละเอียดพิเศษของเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ขนาด 12 นิ้ว โดยใช้สูตรผสมอลูมินาและเซอร์โคเนียที่ได้รับการปรับปรุง ทำให้มีคุณสมบัติเด่นคือ การกระจายตัวของอนุภาคสม่ำเสมอ ความแข็งปานกลางและคงที่ และการแขวนลอยในสารละลายที่ดีเยี่ยม เหมาะอย่างยิ่งกับข้อกำหนดการขัดเงา CMP ที่เข้มงวดของเวเฟอร์ขนาดใหญ่
ผลิตภัณฑ์นี้ใช้ในกระบวนการขัดเงาละเอียดแบบครบวงจรสำหรับแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนขนาด 12 นิ้ว แกลเลียมอาร์เซไนด์ อินเดียมฟอสไฟด์ และแผ่นเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำแบบผสมอื่นๆ ช่วยขจัดข้อบกพร่องขนาดเล็กบนพื้นผิว ร่องรอยการตัด และชั้นที่ไม่เรียบได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยไม่ก่อให้เกิดรอยขีดข่วน รอยบุ๋ม หรือคราบตกค้างบนพื้นผิว ทำให้ได้พื้นผิวที่เรียบเนียนเป็นพิเศษ และช่วยเพิ่มความเรียบ ความขนาน และผลผลิตโดยรวมของแผ่นเวเฟอร์ขนาดใหญ่ได้อย่างมาก
ด้วยความสม่ำเสมอของส่วนผสมที่คงที่และอัตราการกำจัดวัสดุที่ควบคุมได้ ทำให้เหมาะสำหรับการผลิตเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้วจำนวนมากแบบอัตโนมัติ สามารถใช้ทดแทนผงขัดเงาคุณภาพสูงที่นำเข้าได้อย่างสมบูรณ์แบบ รองรับข้อกำหนดอนุภาคที่กำหนดเอง เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การประมวลผลพื้นผิวชิปออปโตอิเล็กทรอนิกส์ และสถานการณ์ที่มีความแม่นยำสูงอื่นๆ เป็นวัสดุขัดเงาหลักที่มีประสิทธิภาพและเชื่อถือได้สำหรับการผลิตเวเฟอร์ขนาดใหญ่
คุณสมบัติทางกายภาพและองค์ประกอบทางเคมีของผงขัดเงาแสง %FO สำหรับการขัดเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้ว
| รายการ | ขนาด | ความหนาแน่นสัมพัทธ์ (กรัม/ซม³) | เคมี(%) | ||||
| อัล2โอ3 | ซิโอ2 | เฟ2โอ3 | ไทโอ2 | ZrO2 | |||
| เอฟโอ | #800-#1200 | ≥3.90 | ≥45.0 | ≤20.0 | ≤0.5 | ≤2.0 | ≤33.0 |
| #1500-#3000 | ≥3.90 | ≥40.5 | ≤20.0 | ≤0.7 | ≤2.0 | ≤33.0 | |
การกระจายขนาดอนุภาค (PSD) ของผงขัดเงา FO สำหรับการขัดเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้ว
| ขนาด | ดี0 | ดี3 | ดี50 | ดี94 |
| #800 | ≤32.0 | ≤27.0 | 11.3±0.9 | ≥6.5 |
| #1000 | ≤27.0 | ≤23.0 | 9.4±0.8 | ≥5.0 |
| #1200 | ≤23.0 | ≤20.0 | 7.1±0.7 | ≥4.0 |
| #1500 | ≤19.0 | ≤17.0 | 5.5±0.5 | ≥3.0 |
| #2000 | ≤15.0 | ≤14.0 | 4.5±0.4 | ≥2.0 |
| #3000 | ≤12.0 | ≤11.0 | 3.6±0.4 | ≥1.5 |
การใช้งานหลักของผงไมโครออปติก FO
– การเจียรและการขัดแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์
– การตกแต่งพื้นผิวของกระจกออปติกชนิดต่างๆ
– การเจียรและการขัดเลนส์ ปริซึม กระจก ตัวกรอง ฯลฯ ที่ทำจากผลึกทางแสง
– การตกแต่งพื้นผิวของวัสดุเพียโซอิเล็กทริก
การบรรจุผงละเอียดออปติก FO
ถุงพีวีซี 10 กก. + พาเลท
